JSR, 충북 오창에 EUV용 MOR 반도체 소재 공장 준공
요약
일본 JSR의 한국법인 JSR마이크로코리아가 청주 오창 외국인투자지역에 극자외선(EUV)용 금속산화물 기반 포토레지스트(MOR) 생산 공장을 준공했다. JSR이 마련한 첫 EUV MOR 생산거점으로, 2021년 미국 인프리아 인수 이후 추진해온 MOR 사업화의 결과물이다. MOR은 무기물 기반 포토레지스트로 유기물 소재보다 식각 저항이 우수해 미세 패턴 구현에 유리하다.
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오창 공장은 MOR의 최종 생산공정만 담당하는 구조로, 소재 생산의 전체 공정이 국내로 완전히 이전된 것은 아니다.
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도입 효과·생산성 수치는 원문에 적힌 주장을 그대로 옮겼습니다. 스마트팩토리 기사는 공급사 보도자료가 많으므로 검증된 성과와 구분해 읽으세요.
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