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설비·공작기계

신성이엔지, 반도체대전서 클린룸 습도 제어·오염 진단 설비 공개

전기신문2026-10-13

요약

신성이엔지가 서울 코엑스에서 열리는 'SEDEX 2026(반도체대전)'에 참가해 반도체·디스플레이 생산공정의 온·습도를 제어하고 미세 오염물질의 발생 원인과 유입 경로를 진단하는 클린룸 설비를 선보인다. 주요 출품 제품은 수가습시스템, 제습 설비 EDM, 케미컬필터 내장형 팬필터유닛 ICF, 외기공조기 OAC다.

큐레이터 노트

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공정 미세화로 클린룸 환경 관리 요구가 높아지는 추세 속에 가습·제습부터 오염원 진단까지 공정별 요소 기술이 전시회에 함께 소개된다는 점이 특징이다.

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도입 효과·생산성 수치는 원문에 적힌 주장을 그대로 옮겼습니다. 스마트팩토리 기사는 공급사 보도자료가 많으므로 검증된 성과와 구분해 읽으세요.

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